海洋光學為半導體加工中的等離子蝕刻終點監測和膜厚測量提供光學感測解決方案。我們的光譜儀和配件使得芯片設計和制造一線的研究人員、原始設備制造商和集成商受益匪淺。
我們提供用于半導體工藝實時監測和控制的光譜儀:
基于光譜的傳感器不僅可用于半導體沉積和蝕刻工藝,還可用于腔室滅菌。這些工具可用于優化晶圓產量和質量。
可選產品編號
預配置版Ocean HDX光譜儀
海洋光學與半導體解決方案供應商GlobalFoundries合作,協力改進支持5G和物聯網等新興電子技術的工藝
海洋光學與等離子蝕刻技術的先進創新者合作,探索適合檢測關鍵晶圓蝕刻端點的全光譜等 離子監控解決方案
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